เครื่องเคลือบผิวภายใน HPC——
-
PECVD ด้วยเทคโนโลยีการปล่อยประจุแคโทดกลวง -
ความหนา 2-30 ไมโครเมตร -
ความแข็ง 5-25 GPa -
อัตราส่วนระหว่างความยาวและเส้นผ่านศูนย์กลางภายในสูง (สูงสุดถึง 20:1)

-
สารเคลือบที่มีส่วนประกอบของคาร์บอน มีแนวโน้มการยึดเกาะต่ำ และมีคุณสมบัติป้องกันการกัดกร่อนดีเยี่ยม -
โครงสร้างหลายชั้นมีความแข็งสูง สึกหรอน้อย และมีความแข็งแรงต่อแรงเฉือนสูง -
พื้นผิวเรียบ ไม่เพิ่มความหยาบของพื้นผิวในระหว่างกระบวนการเคลือบ เพื่อหลีกเลี่ยงการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างท่อและสถานะการไหลของของเหลวอย่างมีประสิทธิภาพ

ขอบเขตการใช้งาน


เทคโนโลยีขั้นสูง
PECVD ด้วยเทคโนโลยีการปล่อยประจุแคโทดกลวง


มีขนาดท่อให้เลือกหลากหลาย
อัตราส่วนความยาวต่อเส้นผ่านศูนย์กลางภายในสูง (สูงสุด 20:1) และความยาวท่อมาก (สูงสุด 3 เมตร)


ความสามารถในการปรับแต่งประสิทธิภาพได้หลากหลาย
สามารถปรับความหนา/ความแข็ง/ปริมาณธาตุที่เติมลงในสารเคลือบ ฯลฯ ได้อย่างง่ายดาย


อุปกรณ์อัตโนมัติ
ซอฟต์แวร์ใช้งานง่ายและปรับพารามิเตอร์กระบวนการได้สะดวก
การวิเคราะห์คุณสมบัติของกระบวนการชุบ DLC ในท่อ

ท่อด้านในมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม. และความยาว 50 มม.

ท่อด้านในมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม. และความยาว 250 มม.

ท่อด้านในมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 25 มม. และยาว 200 มม.

ค่าความหยาบผิว Ra อยู่ระหว่าง 0.1 ถึง 0.2 ไมโครเมตร

ความแข็ง: 5-10 จีพีเอ

การยึดเกาะดี (≤HF2)

ความหนาของชั้นเคลือบด้านในอยู่ที่ 2 ถึง 30 ไมโครเมตร


เอชดี500