-
หลักการทำงานของอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศคืออะไร?
+
A: เทคโนโลยีนี้ใช้การเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition: PVD) หรือการเคลือบด้วยไอระเหยทางเคมี (Chemical Vapor Deposition: CVD) เพื่อทำให้วัสดุเป้าหมายกลายเป็นไอในห้องสุญญากาศ และเคลือบลงบนพื้นผิวอย่างสม่ำเสมอ ทำให้เกิดการเคลือบที่มีคุณสมบัติเฉพาะในระดับนาโน
-
อุปกรณ์นี้ต้องการการบำรุงรักษาตามปกติอย่างไรบ้าง?
+
A: 1) ทำความสะอาดคราบตกค้างในห้องสุญญากาศทุกๆ 50 ชั่วโมงการทำงาน 2) ตรวจสอบระดับน้ำมันปั๊มกลไกและสภาพซีลทุกเดือน 3) ปรับเทียบระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มทุกไตรมาส แนะนำให้ใช้วัสดุสิ้นเปลืองของแท้เพื่อประสิทธิภาพสูงสุด
-
อุปกรณ์นี้สามารถเคลือบวัสดุอะไรได้บ้าง?
+
A: สามารถใช้ได้กับโลหะ (อลูมิเนียม/ไทเทเนียม), เซรามิก (Si3N4), โพลิเมอร์ ฯลฯ ขนาดพื้นผิวสูงสุด: Φ300 มม. × 500 มม. รองรับการเคลือบบนชิ้นงานรูปทรงไม่สม่ำเสมอ
-
อุปกรณ์นี้ใช้พลังงานเท่าไร?
+
A: รุ่นมาตรฐานมีกำลังไฟพิกัด 15 กิโลวัตต์ พร้อมโหมดประหยัดพลังงานอัจฉริยะที่ช่วยลดการใช้พลังงานในโหมดสแตนด์บายลง 40% การใช้งานเต็มกำลังไฟฟ้ามีค่าใช้จ่ายประมาณ 9 หยวนต่อชั่วโมง (อิงตามอัตราค่าไฟฟ้าอุตสาหกรรมที่ 0.6 หยวนต่อกิโลวัตต์ชั่วโมง)
-
วิธีการแก้ไขปัญหาความผิดปกติของกระบวนการ?
+
A: 1) เปรียบเทียบกราฟแสดงผลลัพธ์ของกระบวนการผลิต 10 ชุดล่าสุดผ่านทาง HMI; 2) ใช้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศเพื่อตรวจสอบการปิดผนึกของห้อง; 3) ติดต่อฝ่ายสนับสนุนด้านเทคนิคเพื่อขอรับการวินิจฉัยจากระยะไกล (ให้บริการตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์)
เอชดี500
